高纯石墨制品的化学纯化,是基于金属卤素化合物,都是低沸点化合物这一事实。如四氯化硅在56.8度沸腾,二氯化铁在319度沸腾,而氟利昂-12等卤素及其化合物,又能渗透进石墨制品与石墨中的杂质反应,生成金属卤素化合物,挥发出来,使石墨制品中杂质含量下降。这一技术早为人知,用于生产分析用光谱纯级石墨电极,但光谱纯级石墨电极直径很小,一般在10mm以下。如需大规